Nzila ya kusala bifwanisu ya ke monisa mambu ya mbi

Nzila ya teknolozi
Kupesa bima ya kuyela mpi bisika ya gaz: Kupesa bima ya kuyela sambu na filme ya anti reflective, bonso SiO na mitindu yankaka ya kusadila, na ntangu mosi kupesa banto ya gaz yina kewakana ti bima ya kuyela, bonso SiH ₄, N 2 O, mpi N ₗ nto ya gaz.
Kusala ya couche ya reflexion anti: Sadila bima ya kuyela ya mutindu mosi sambu na kusala na ndonga ata ba couche zole ya anti reflexion ya filme anti reflexion na zulu ya couche ya substrat. E nsongo mia substrato milenda kala ye nlonga mia SiO, nlonga mia Si, ye nsongo mia tambula muna nlonga muna nzila ya wokela kwa filme. Kubaka ba zole-} ya couche ya reflexion anti référence (couche anti anti reflexion ya ntete mpe couche ya reflexion anti ya zole) mutindu mbandu, yau ke salamaka na nzila ya processus ya kuyela ya epitaxiale (bonso plasma ya kutomisa metode ya deposition chimique ya chimique ya kutula vapeur PECVD). Bitambi ya sikisiki kele mutindu yai:
Kusala na ntoto: Na nima ya kusala kisalu ya kutula bunkete na ba semi-conducteur na zulu ya couche ya substrat, tula couche ya substrat na bisadilu ya kutula CVD.
Ba parametre ya parametre ya bisadilu: Kuyala temperature ya zulu ya electrode ya bisadilu ya kutula CVD na 200-300 degrés mpi temperature ya électrode ya nsi tii na 250-350 degrés .
Kuyela ya couche ya ntete ya réflexion anti réflection: Kuyidika ba paramètres ya ntete ya deposition ya bisadilu ya kutula CVD, na kati na yau ntalu ya ntete ya volume ya SiH ₄, N 2 O, mpe N , pression ya ntete ya gaz, ngolo ya ntete ya RF ya bisadilu ya kutula CVD, ntangu ya ntete ya kutula filme, etc., to konso kuvukisa yau, samu na kuyedisa couche ya ntete ya réflection na ntama ya 10-200 nm mpe . nsinga ya kufwanisa ya 1,4-1,71.
Kuyela ya couche ya zole ya réflexion ya anti reflexe: Kuyidika ba paramètres ya zole ya kutula ya bisadilu ya kutula CVD, na kati na yau ntalu ya volume ya zole ya SiH ₄, N 2 O, mpe N , pression ya zole ya gaz, ngolo ya zole ya RF ya bisadilu ya kutula CVD, ntangu ya zole ya kutula filme, etc., to konso kuvukisa yau, samu na kukuna couche ya zole ya anti reflex 10-200nm ye nsiku mia 1,4-1,71.

Mambote ya teknolozi
Na kusadilaka bima ya kuyela ya mutindu mosi, filme ya anti reflexion lenda lungisa effet anti reflexion ya mutindu mosi kana beto fwanisa yau na ba films anti reflexion ya kukangama ya bima ya kuswaswana, na kukulumusa mitindu ya ba sources ya gaz yina ba ke sadilaka, na kukulumusa mpasi ya processus ya kubongisa, mpe na kukumisaka kisika ya kubongisa mpe kisika ya kisalu samu na kubumba mpe kusadila ba nzila ya gaz na ntangu ya kubongisa.

Nzila ya kusala ya SiO /TiO 2 2 film anti reflective .

Nzila ya teknolozi
Kubongisa bima ya fioti: Pona ba substrats ya ke monana pwelele bonso glase, glase organique, filme ya polyimide, mpi buna na buna, mpi sala lusansu ya kukatula matobo sambu na kuzikisa nde yo kele bunkete mpi putulu-} ya ofele. Kana yo kele mfunu, mpumpa ya{3}}}}}}}}) lenda salama sambu na kutomisa mutindu ya kupesa nsemo.
Kubongisa ya precursor ya filme: tetraethoxysilane (TEOS) mpe titanate ya tetrabutyl (TBT) ke yikamaka na éthanol yina kele na NH ₄ OH na kitezo mosi buna, mpe reaction ke salamaka na 9-12 samu na kuzwa systeme ya sol ya transparent - gel.
Kufika mpi kubelula: ngidika ya gel ya sol ya kuyidika me fuluka na mutindu mosi na zulu ya substrat ya ke monana, mpi bo lenda sadila bima ya kutula na zulu ya ntoto, kuyobisa, kuyobisa mpi kusala bapula ya nkaka. Na nima ya kutula yo, SiO ya hybride /TiO 2 precursor ya filme ke tulamaka na furu sambu na kusansa mpi kusansa, kusala ngidika ya multi-shoer.
Kufika ya nziunga: Vutula mutindu ya kutula mukubu mpi ya kuyidika tii kuna bo ta baka effet anti reflective yina bo ke zola. Bantangu ya kuswaswana mpi ba sequence ya kuswaswana ta vanda ti bupusi na kisalu ya bafilme yina ke monisaka mambu yina ke monisaka ve, mpi yo ke lombaka kusala bansosa mpi kuyidika mambu mbote.
Nsadilu ya zulu: Sambu na kuyedisa ngolo mpi ngolo ya filme yina ke monisaka mambu yina ke monisaka nitu, bo lenda fika nsinga ya polymère hydrophile mpi hydrophobe na zulu ya filme yina ke monisaka mambu yina ke fwaka.

Nzila ya kusala filme anti reflective ya infra-rouge
Nzila ya teknolozi
Filme ya infrarouges anti reflexion me katuka na silicium mpi bo me pakula yo ti bafilme ya ke monisaka mambu yina ke fwaka na bandambu yonso zole ya substrat. Nsadulu ya ngidika ya filme ya filme ya anti reflexion kele na kimpwanza mosi na mosi mutindu (HL) ^ S, kisika H ke monisa couche ya Si, L ke monisa couche ya SiO, S ke monisa ntangu ya structure ya kisina ya HL, mpe ntalu ya S kele ntalu ya mvimba na kati ya 3-6. E nlonga Si una lukufi ye nsongo, e nlonga mia SiO mina vana ntandu. Bo ke sadilaka mutindu ya kutula mukubu sambu na kukanga couche ya filme na substrat, ti couche ya filme ya SiO bonso couche ya kuluta na nganda, yina kele ti ngolo ya zulu ya zulu mpi yo ke lombaka ve couche ya nkaka ya kutanina. Na zulu ya mambu yina, SiO kele ti index ya refraction ya fioti, yina lenda kulumusa reflectivité ya surface mpi kuyedisa diaka transmission infrarouges.

Nzila ya kusala bima ya zulu-}}}ana yina ke kangamaka na CO 2 .
ngidika ya teknolozi
Na ntwala ya kuyoka, bo ke salaka mutindu ya kukabula na ntwala ya kuyoka na zulu ya fluore ytttrium, fluore ytttrium ya calcium, mpi bima ya filme ya selenide ya zinc sambu na kukatula mvindu na kati ya bima ya bo ke sadilaka sambu na kusala bafilme.
E nlonga wa filme ya deposition: E nlonga antete wa fluoride yttrium, nlonga wa fluorride yttrium wa yttrium, nlonga wa zinc selenido, ye nlonga wa yttrium wazole, usiwanga muna nlonga wa nsinga wa zinc selenido ye nsongo mia 3 ± 0,1mm muna fulu kia fulumuna. Kisika ya kufika ya konso couche kele kuluta 95% ya kisika ya zulu ya couche ya substrat. Ba nsatu ya nene ya nitu sambu na konso couche kele mutindu yai: nene ya nitu ya couche ya fluorure ya ntete ya ytttrium kele 95-100 nanomètres; E nsongo mia ytterbium calcium fluoris mia 860-870 mia nanometros; E nsongo mia nitu mia nsinga wa zinc 240-250 mia nanometro; E nsongo mia nitu mia fulu kiazole mia fluoride yttrium, 95-100 mia nanometro.
 

Mambote ya teknolozi
E membrana ya anti reflection yakubama ina ye nkubika yakete ye mpila yambote yavangilwa. Kuvukisa ya ba couche iya kele ti bikalulu ya résistance ya tiya ya ngolo, transmetance ya ngolo, couche ya membrane ya ngolo, mpasi ya kufwanana na kati ya ba couches ya membrane, mpi kukonda kupasuka ya ba couches membrane. Yo lenda lungisa kisalu ya ke landa kusalama ya bima yina kele na nsi ya tiya ya ngolo, mpi bima yina bo ke sadilaka na konso couche kele ve ya radioactif, yina ta bebisa ve bantu yina ke sadilaka yo mpi kisika yina yo ke zingaka.