Nzo - Bima - Semiconducteur - Bantu ya Quartz - Mambu ya fioti-fioti

Maswa ya Kusukula ya Kusukula ya Quartz

Masuwa ya kuyobisa ya quartz kele kisadilu mosi ya bo ke sadilaka sambu na kutula bunkete na zulu ya ntoto na mutindu ya kusala ba semi-conducteur.
Kima : 99,99% ya bima ya bo me vukisa ti quartz ya quartz (SiO2)
Tekiniki : Kuzenga, kupolisa, kutobula, kukanga, etc.
Bunene : Kidi
MOQ : 1 pcs

Tinda Kuyula

Ntendula

Bima

résistance ya temperature ya ngolo
1 Kutesana ya kubeba
Kulwata ngolo
Kukonda mpasi na kuyobisa .

Sadila

Katula bima ya ke bebisaka zulu
Zikisa nde bo ke salaka ba chips ya ba semi-conducteur.

Application

Pre{se

Bau ke sadilaka yau sambu na kunata bagade na nzila ya banc ya masa to ya kutula bunkete ya kudindisa (mu mbandu, kuyobisa RCA) sambu na kukatula bima ya ke bebisaka bima ya ke zingaka, ya bibende, mpi ya bima ya nkaka na ntwala ya kusala kisalu ya diffusion to ya oxidation ya ngolo.

Post-CMP (Planarisation mécanique chimique) Kusukula .

Kusimba ba monfer na ntangu ya poste-aposhishing ke sukulaka sambu na kukatula ba résidus ya slurre mpi bifu ya zulu, na kuzikisaka nde yo kele mbote sambu na bitambi ya lithografi yina ke landa.

Front-}}}}anair

Kusala na ba etape ya kusukula ya FEOL ya mfunu kisika ultra{0}}}}}}}ana ke lombamaka sambu na kuyela ya oxide ya kielo, kutula ba epitaxial, to kutula ba ion.

Mukongo{0}}End-of{2}}}}Line (BEOL) Kusala kisalu .

Kupesa maboko na ba wafer na ntangu ya poste-etch to poste ya kutula na zulu ya photoresiste, tula bima ya fioti-fioti, mpe bima ya bibende na nima ya kusala ba nguizani.

Paquet ya nene

Kusadisa wafer-} nivo ya kutula bunkete na ntwala ya kutula to kukangama na kati ya 2,5D/3D IC ya kukanga, na kuzikisa nde mvindu kele-}}} ya ofele sambu na ba nzila ya kukangama ya kutudila ntima.

Kusala bafoto

Bo ke sadilaka yo na kusala baselile ya ntangu sambu na kuyobisa ba substrats ya silicium, mpi yo ke kumisaka mbote-mbote zulu sambu na kutomisa mutindu ya kubaka nsemo mpi mutindu ya kubalula ngolo.

Bima

Bima ya nitu	Bantalu
Bunkete	＞99.99%
Ngolo	2,2g/cm³
Kumonisa pwelele	＞90%
Mohs mpasi	5.5--6.5
Point de deformation	1280 degré
Point ya pete	1750 degré
Point ya kutunga	1250 degré
Tiya ya sikisiki (20 - 350 degré )	670J/kg. kiteso
Kusala ya tiya (20 degrés )	1,4W/m. kiteso
Kusala ya tiya (w/mk,1000 degré )	1.0-1.2
Index ya kuvutukila	1.4585
Coefficient ya Expansion thermique	5.510 ^-7cm/cm. kiteso
Tiya - ya kisalu	1750~2050 degré
Nkufi - ngogo Temperature ya kisalu	1450 degré
Nda - terme Temperature ya kisalu	1100 degrés

Bima ya kimunganga	Bantalu
Kukonda ngolo	Acide ya ngolo(katula kaka HF),Strong alcali, solution organique .
Ba temperature ya ngolo ke kangamaka ve	Ya mbote
Mambu ya Metaka ya Meta	-5 ppm

Bima ya kura	Bantalu
Kuvutula ngolo	710⁷Ω.cm
Ngolo ya Kukanga Ntomo	250~400Kv/cm
Constant dielectrique	3.7~3.9
Coefficient de abstion diélectrique	＜410-4
Coefficient ya Kuvidisa Dielectrique	＜110-4

Bikalulu ya Mekanike	Bantalu
Ngolo ya ngolo	1100MPa
Ngolo ya kubwa	67MPa
Ngolo ya Tensile	48MPa
Ratio ya Poisson	0.14~0.17
Module ya Young	72000MPa
Module ya Shear	31000MPa

Bametoto ya bunkete

mosi. Kusukula ya masa :
Tula wafer na maswa ya kuyobisa, na nima tula maswa ya kuyobisa na masa ya kuyobisa, mpi sala nde masa ya kuyobisa ti zulu ya wafer kukuma mingi na kutombulaka maswa ya wafer sambu na kutomisa mutindu ya kutula bunkete.

b. Kusukula ya spray :
Telama maswa ya kuyobisa na zulu ya suku ya bo ke tulaka masa, mpi sadila buzoba sambu na kulosila masa ya kuyobisa na zulu ya ntoto sambu na kukatula bima yina ke bebisaka.

c. Mfunu ya bamaswa ya kutula bunkete :
Kuzikisa bunkete ya ba wafer: Kisika ya kusala ba wafer ya bunkete kele mfunu mingi sambu na kusala ba chips ya ba semi-conducteurs, mpi maswa ya kutula bunkete ke sala kisalu ya mfunu na kisalu ya kutula bunkete.
② Zikisa nde ba chips ya ba semi-conducteur lenda tudila ntima: Zikisa nde ba chips lenda tula ntima mpi kufiotuna bifu ya bima na kukatulaka bima yina ke bebisaka zulu.
Kutomisa mbutu ya ba chips ya ba semi-conducteurs: Kutomisa bunkete ya ba wafer, na mutindu yina kutomisa mbutu ya ba chips ya ba semi-conducteurs.